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公开(公告)号：CN220079184U
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202321576603.7
申请日：2023-06-20
Applicant: 中南大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458
Abstract: 本实用新型公开了一种多通道化学气相沉积炉，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体整体呈圆柱形，所述沉积炉本体外侧周向均匀包裹保温层，所述沉积炉本体左右两侧分别设有四个水平进气管和两个水平排气管，所述沉积炉本体内部设有石墨坩埚，所述沉积炉本体内壁周向设有均匀分布的上下两个温区的石墨加热棒，所述石墨坩埚内部底端设有旋转料台，所述旋转料台上设有工装夹具，所述沉积炉本体底部设有圆形石墨板，两个所述水平排气管之间设有排气处理装置，所述沉积炉本体内部顶端设有保温毡。本实用新型采用上述的一种多通道化学气相沉积炉，以解决上述背景技术提出的核燃料包壳管轴向沉积不均匀，且反应室内部空间较小，无法进行工业化生产的问题。
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