公开(公告)号：CN113621931A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202110966057.7

申请日：2021-08-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  董和磊 ,  张磊 ,  李硕林

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，该夹具包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。本发明可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。