公开(公告)号：CN102647657A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210164461.3

申请日：2012-05-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  何常德 ,  张国军 ,  于佳琪 ,  王红亮 ,  张文栋 ,  宛克敬 ,  廉德钦 ,  苗静 ,  杜春晖 ,  张永平

IPC: H04R17/00

Abstract: 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位于X轴方向，侧梁位于Y轴方向，且振动膜宽度大于侧梁宽度，振动膜上的中间位置对称分布有第一、二应变压敏电阻，两侧梁上靠近质量块边框的根部位置对称分布有第三、四应变压敏电阻，四个应变压敏电阻的阻值相同并且其之间连接成一个惠斯通电桥。本发明结构简单新颖、重量轻、体积小、功耗低、灵敏度高、加工成本低、适合于批量化生产、单片集成便于安装测试。

公开(公告)号：CN102435776B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201110319018.4

申请日：2011-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  熊继军 ,  刘俊 ,  张国军 ,  杜春晖 ,  宛克敬 ,  葛晓洋 ,  苗静 ,  廉德钦 ,  于佳琪 ,  张永平

IPC: G01P15/18 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块边框，四周质量块边框分别通过弹性梁臂与中心固支块固定，中心固支块下底面通过静电耦合技术与玻璃底盖键合，十二个阻值相等的压敏电阻对称分布在八根弹性梁臂的两端，压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别测试三个轴向的加速度。本发明加速度计灵敏度高，封装结构简单，可靠性高，成本低廉，易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。

公开(公告)号：CN102647657B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201210164461.3

申请日：2012-05-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  何常德 ,  张国军 ,  于佳琪 ,  王红亮 ,  张文栋 ,  宛克敬 ,  廉德钦 ,  苗静 ,  杜春晖 ,  张永平

IPC: H04R17/00

Abstract: 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位于X轴方向，侧梁位于Y轴方向，且振动膜宽度大于侧梁宽度，振动膜上的中间位置对称分布有第一、二应变压敏电阻，两侧梁上靠近质量块边框的根部位置对称分布有第三、四应变压敏电阻，四个应变压敏电阻的阻值相同并且其之间连接成一个惠斯通电桥。本发明结构简单新颖、重量轻、体积小、功耗低、灵敏度高、加工成本低、适合于批量化生产、单片集成便于安装测试。

公开(公告)号：CN102435776A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110319018.4

申请日：2011-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  熊继军 ,  刘俊 ,  张国军 ,  杜春晖 ,  宛克敬 ,  葛晓洋 ,  苗静 ,  廉德钦 ,  于佳琪 ,  张永平

IPC: G01P15/18 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块边框，四周质量块边框分别通过弹性梁臂与中心固支块固定，中心固支块下底面通过静电耦合技术与玻璃底盖键合，十二个阻值相等的压敏电阻对称分布在八根弹性梁臂的两端，压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别测试三个轴向的加速度。本发明加速度计灵敏度高，封装结构简单，可靠性高，成本低廉，易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。