公开(公告)号：CN101793520B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201010106223.8

申请日：2010-01-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  张文栋 ,  闫树斌 ,  薛晨阳 ,  丑修建 ,  赵敏 ,  严英占 ,  石云波 ,  仝晓刚

IPC: G01C19/64 ,  G02B6/28 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及光学领域和微机电领域，具体是一种基于光学微腔的集成光波导陀螺。解决了现有光纤陀螺仪性能提高受光纤环质量限制、不利于光纤陀螺仪在高精度领域应用等问题，包括光源、分束器、由信号处理单元和两个光电探测器构成的光检测装置，还包括采用MEMS加工工艺在半导体衬底上加工得到的光学微腔、平行对称设置于光学微腔两侧的光波导，两光波导分别与光学微腔构成光波导-微腔耦合结构，分束器的两出射口分别经入射光纤与两光波导的入射端一一对应建立两路入射光路，两光波导的出射端分别经出射光纤与光检测装置中两光电探测器的输入端一一对应建立两路出射光路。本发明结构合理、简单，灵敏度高，应用范围广，能适合应用于高精度测量领域。

公开(公告)号：CN102540349A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210014097.2

申请日：2012-01-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 苏淑靖 ,  焦新泉 ,  薛晨阳 ,  臧俊斌 ,  闫树斌 ,  张文栋 ,  仝晓刚 ,  晋玉剑 ,  王景雪 ,  崔丹凤 ,  韦丽萍 ,  王永华 ,  田学东

IPC: G02B6/34

Abstract: 本发明公开了一种光纤与光波导芯片高效垂直耦合互连的封装方法，其包括以下步骤：制备出硅基纳米波导光栅，并应用扫描电镜对硅基纳米波导光栅进行扫描；准备好低折射率固化封装材料；制备单模光纤；在硅基纳米波导光栅的表面涂覆光学增透膜；调整单模光纤和硅基纳米波导光栅之间的位置；点胶单模光纤与硅基纳米波导光栅的耦合端；对点胶的内部封装体进行曝光固化；制备出V型光纤定位槽；将单模光纤放置到V型光纤定位槽中；进行单模光纤的固化封装；对点胶的V型光纤定位槽进行曝光固化；对最终封装后的结构进行测试。本发明克服目前光集成芯片上纳米波导与光栅垂直耦合系统的不稳定性等缺点，且结构简单、稳定性好、抗外界干扰且易于阵列集成。

公开(公告)号：CN101793520A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN201010106223.8

申请日：2010-01-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  张文栋 ,  闫树斌 ,  薛晨阳 ,  丑修建 ,  赵敏 ,  严英占 ,  石云波 ,  仝晓刚

IPC: G01C19/64 ,  G02B6/28 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及光学领域和微机电领域，具体是一种基于光学微腔的集成光波导陀螺。解决了现有光纤陀螺仪性能提高受光纤环质量限制、不利于光纤陀螺仪在高精度领域应用等问题，包括光源、分束器、由信号处理单元和两个光电探测器构成的光检测装置，还包括采用MEMS加工工艺在半导体衬底上加工得到的光学微腔、平行对称设置于光学微腔两侧的光波导，两光波导分别与光学微腔构成光波导-微腔耦合结构，分束器的两出射口分别经入射光纤与两光波导的入射端一一对应建立两路入射光路，两光波导的出射端分别经出射光纤与光检测装置中两光电探测器的输入端一一对应建立两路出射光路。本发明结构合理、简单，灵敏度高，应用范围广，能适合应用于高精度测量领域。