公开(公告)号：CN101163817B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200680013444.2

申请日：2006-02-07

Applicant: 东洋制罐株式会社

Inventor： 稻垣肇 ,  家木敏秀 ,  鬼头谕 ,  中野龙太 ,  M·中山

IPC: C23C16/44 ,  B65D1/00 ,  B65D23/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/50

Abstract: 本发明的蒸镀膜通过使用有机金属化合物和氧化性气体作为反应气体的等离子体CVD法而形成在基体表面，以来源于上述有机金属化合物的金属元素(M)、氧(O)和碳(C)3种元素为基准，上述蒸镀膜划分为碳浓度为5元素％以上的基体侧粘结层、碳浓度不到5元素％的阻挡性中间层、和碳浓度为5元素％以上的表面保护层。该蒸镀膜不仅对基体的附着性良好，而且对水分、特别是碱水溶液的耐受性也优异。

公开(公告)号：CN101163817A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200680013444.2

申请日：2006-02-07

Applicant: 东洋制罐株式会社

Inventor： 稻垣肇 ,  家木敏秀 ,  鬼头谕 ,  中野龙太 ,  M·中山

IPC: C23C16/44 ,  B65D1/00 ,  B65D23/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/50

Abstract: 本发明的蒸镀膜通过使用有机金属化合物和氧化性气体作为反应气体的等离子体CVD法而形成在基体表面，以来源于上述有机金属化合物的金属元素(M)、氧(O)和碳(C)3种元素为基准，上述蒸镀膜划分为碳浓度为5元素％以上的基体侧粘结层、碳浓度不到5元素％的阻挡性中间层、和碳浓度为5元素％以上的表面保护层。该蒸镀膜不仅对基体的附着性良好，而且对水分、特别是碱水溶液的耐受性也优异。