公开(公告)号：CN113252943B

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202110550830.1

申请日：2021-05-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 黄丽斌 ,  姜凯 ,  丁徐锴 ,  赵立业 ,  李宏生 ,  张美美

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一种改善硅微谐振式加速度计冲击振动性能方法，包括硅微谐振式加速度计、差分检测梳齿、前端读取电路、阻尼控制电路、信号耦合电路和推挽驱动梳齿。所述方法通过与质量块连接的差分检测梳齿和前端读取电路感知质量块位移量并作用于阻尼控制电路，所产生的控制信号通过信号耦合电路作用于推挽驱动梳齿并对质量块产生静电力作用。本发明利用积分负反馈实现阻尼控制电路在系统带宽范围内幅值随频率线性增长的幅频特性，在高频段构造幅值的衰减特性，可通过调节阻尼控制电路幅频特性转折点抑制电路噪声；通过阻尼控制电路构成负反馈控制等效提高系统阻尼，降低质量块谐振模态的激励响应，改善硅微谐振式加速度计的冲击振动性能。

公开(公告)号：CN113252943A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110550830.1

申请日：2021-05-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 黄丽斌 ,  姜凯 ,  丁徐锴 ,  赵立业 ,  李宏生 ,  张美美

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一种改善硅微谐振式加速度计冲击振动性能方法，包括硅微谐振式加速度计、差分检测梳齿、前端读取电路、阻尼控制电路、信号耦合电路和推挽驱动梳齿。所述方法通过与质量块连接的差分检测梳齿和前端读取电路感知质量块位移量并作用于阻尼控制电路，所产生的控制信号通过信号耦合电路作用于推挽驱动梳齿并对质量块产生静电力作用。本发明利用积分负反馈实现阻尼控制电路在系统带宽范围内幅值随频率线性增长的幅频特性，在高频段构造幅值的衰减特性，可通过调节阻尼控制电路幅频特性转折点抑制电路噪声；通过阻尼控制电路构成负反馈控制等效提高系统阻尼，降低质量块谐振模态的激励响应，改善硅微谐振式加速度计的冲击振动性能。