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公开(公告)号：CN119757166A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510220688.2
申请日：2025-02-27
Applicant: 东北大学
IPC: G01N15/10 , G01N15/1031 , G01N15/075 , G01N15/0205 , G01N21/94 , H01L21/66
Abstract: 本发明属于半导体设备技术领域，涉及一种半导体制程设备用颗粒分析装置及颗粒收集方法，装置包括第一粒子计数器、等离子体腔室、颗粒吸附组件，第一粒子计数器用于测量气体中的颗粒浓度和粒径，等离子体腔室包括壳体、第一阳极板、第一阴极板，第一阳极板和第一阴极板之间具有间距，气体及颗粒进入至第一阳极板和第一阴极板之间，气体发生电离，使颗粒表面携带电荷，颗粒吸附组件包括第二阳极板、第二阴极板、绝缘件，第二阳极板和第二阴极板之间形成引流通道，第二阳极板和第二阴极板用于吸附携带电荷的颗粒，统计不同表面电荷性质颗粒的占比，收集的颗粒后续可取出观察形貌并分析化学成分，为半导体制程设备中颗粒污染的来源分析提供理论依据。
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公开(公告)号：CN119121347A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411264657.9
申请日：2024-09-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于铝合金材料表面处理技术领域，具体涉及一种半导体制程设备部件用阳极氧化涂层的制备方法。包括以下步骤：对预处理的铝合金采用真空激光处理的方法形成固溶层或熔覆层，熔覆层为铝层；激光处理过程中，激光功率200W～400W，扫描速率800mm/s～2000mm/s；将激光处理后的铝合金试样置于阳极氧化电解液中处理，在铝合金表面形成阳极氧化涂层，并对阳极氧化涂层进行封孔处理，得到半导体制程设备部件用阳极氧化涂层。本发明采用激光对铝合金进行表面重熔或纯铝层熔覆，减少或消除铝合金试样表层的第二相团簇，铝合金经激光前处理后制备的阳极氧化厚度均匀、无大尺寸孔洞，有效提高后续阳极氧化涂层的致密性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118169020A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410323868.9
申请日：2024-03-21
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明给出一种模拟多相流冲刷腐蚀的设备，包括存储罐内部设有加热元件，用于加热存储罐内流体，顶部设有用于监测所述存储罐内流体温度的第一温度监测器；循环管道与所述存储罐连通，用于与存储罐形成闭合的循环回路，循环管道上设有第二温度监测器，循环管道上还依次设有扰动输送单元、压力监测单元、流量监测单元、监测流体流动状态的可视化单元、监测电化学耐腐蚀性的电化学监测单元以及管道腐蚀监测单元；气体供应组件与循环管道连通，用于将气体送入循环管道内，使管道内流体形成气‑液或气‑液‑液的流动状态。本发明可模拟不同温度、压力条件下，气‑液、气‑液‑液或气‑固‑液多相流体在管道中的流动状态，研究多相流冲刷条件下材料的腐蚀行为，实验条件贴近油管部件的实际服役工况，为极端油气开采运输环境下的油管部件选材提供可靠依据。
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公开(公告)号：CN119980119A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510254730.2
申请日：2025-03-05
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明提供一种不同厚度复合涂层的拼接方法、金属部件和应用。所述拼接方法包括以下步骤：进行遮挡物的形状设计；采用所述遮挡物对金属基材的薄层设计区域进行遮挡，然后在金属基材的表面沉积复合涂层，沉积一定厚度后移除所述遮挡物，继续进行复合涂层的沉积，沉积结束后，在金属基材的表面得到厚度不同的复合涂层。本发明提供的拼接方法可以实现对摩擦系数的调整，材料性能的多样化组合，适应材料微观结构的变化，提高材料的整体性能；同时可以更好地适应各种复杂形状的金属基材，提高涂层的覆盖效果和保护性能。重要的是，该拼接方法可以在满足性能要求的前提下降低成本，提高生产效率，减少生产过程中的浪费，满足工业化需求。
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公开(公告)号：CN119688569A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202510213473.8
申请日：2025-02-26
Applicant: 东北大学
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明属于模拟设备技术领域，涉及一种高通量电子特气腐蚀模拟系统，包括：高温气体腐蚀模块、常温气体腐蚀模块、零件模拟运行模块、高通量电子特气供应模块；压力调节模块，用于分别调节第一反应腔室、第二反应腔室、多组金属垫片面密封接头内的压力，模拟不同压力下电子特气对第一试样的腐蚀以及对第二试样运行精度的影响。本发明能够模拟半导体制程设备及其气体输送系统中各个零件的运行环境，在不同温度、不同压力环境下的电子特气中，对各种零件所用的材料进行耐蚀性能测试，并监测电子特气腐蚀对零件运行精度的影响，为半导体制程设备及其气体输送系统中的各个零件的选材及零件运行寿命提供可靠依据。
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公开(公告)号：CN118086995A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410189303.6
申请日：2024-02-20
Applicant: 东北大学
IPC: C25D11/24
Abstract: 本发明涉及材料表面处理技术领域，具体涉及一种金属材料阳极氧化涂层的封孔方法。具体方法包括以下步骤：S1、筛选出在近中性条件下具有沉积形成氧化物或氢氧化物倾向的金属离子；筛选出对应的氧化物或氢氧化物与氢离子、卤化氢气体反应倾向相对较小的金属离子；筛选出对应的卤化物气化倾向相对较小的金属离子；S2、根据筛选结果以确定用于真空浸渍的金属盐溶液；S3、将表面具有阳极氧化涂层的金属试样置于金属盐溶液中进行真空浸渍处理，然后在120～180℃下进行水蒸气封孔处理。本发明通过金属离子沉积和非晶态氧化物与水蒸气的水合反应封闭孔隙，解决了热水封孔工艺处理的封闭效果较差，在严苛环境中无法形成保护性膜层的问题。
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公开(公告)号：CN218766860U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223139603.9
申请日：2022-11-25
Applicant: 东北大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型具体涉及一种测量材料表面水蒸气吸附率与脱附动力学的设备，包括真空系统、气体供应系统和水蒸气含量测量系统，管路和真空腔室采用PFA接头连接，加热套的面积大于真空腔室表面积的五分之四，第一水罐和第二流量计之间通过管路连接有第二水罐。本实用新型具有以下有益效果：设置的真空系统可有效模拟半导体制造过程中气体输送系统、设备腔室中的压力环境，并通过真空计检测真空腔室中的压力是否达到实验所需的压力值，设置了特殊的干、湿氮气供应系统，可通过调节干、湿氮气的流量比，设置了温度控制系统，在进行温度控制时，控制器根据热电偶向其反馈的测试值来控制加热套是否加热，通过设置两个水罐，使得湿度调节范围可以进行变化。
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