公开(公告)号：CN119757166A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202510220688.2

申请日：2025-02-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 张涛 ,  王宇航 ,  赵阳 ,  刘创伟 ,  沈永乐 ,  王福会

IPC: G01N15/10 ,  G01N15/1031 ,  G01N15/075 ,  G01N15/0205 ,  G01N21/94 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明属于半导体设备技术领域，涉及一种半导体制程设备用颗粒分析装置及颗粒收集方法，装置包括第一粒子计数器、等离子体腔室、颗粒吸附组件，第一粒子计数器用于测量气体中的颗粒浓度和粒径，等离子体腔室包括壳体、第一阳极板、第一阴极板，第一阳极板和第一阴极板之间具有间距，气体及颗粒进入至第一阳极板和第一阴极板之间，气体发生电离，使颗粒表面携带电荷，颗粒吸附组件包括第二阳极板、第二阴极板、绝缘件，第二阳极板和第二阴极板之间形成引流通道，第二阳极板和第二阴极板用于吸附携带电荷的颗粒，统计不同表面电荷性质颗粒的占比，收集的颗粒后续可取出观察形貌并分析化学成分，为半导体制程设备中颗粒污染的来源分析提供理论依据。