公开(公告)号：CN1328766C

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN02803916.5

申请日：2002-01-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加藤良裕 ,  后藤聪 ,  义高光 ,  青木诚

IPC: H01L21/31

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/455 ,  H01J37/3244

Abstract: 本发明提供一种处理装置，在第一扩散板(21)的气体导入管(27)一侧的面上形成槽(30)，在电板极(19)一侧的面上形成凹部(32)。第一槽(30)与凹部(32)通过多个导通口(31)连通。第一槽(30)和导通口(31)，形成从气体导入管(27)通向凹部(32)的气体流路(L)。从气体导入管(27)供给的处理气体通过气体流路(L)，向在凹部(32)与电板极(19)之间形成的中空部扩散，从而进行供气。

公开(公告)号：CN1582488A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN02803916.5

申请日：2002-01-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加藤良裕 ,  后藤聪 ,  义高光 ,  青木诚

IPC: H01L21/31

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/455 ,  H01J37/3244

Abstract: 本发明提供一种处理装置，在第一扩散板(21)的气体导入管(27)一侧的面上形成槽(30)，在电板极(19)一侧的面上形成凹部(32)。第一槽(30)与凹部(32)通过多个导通口(31)连通。第一槽(30)和导通口(31)，形成从气体导入管(27)通向凹部(32)的气体流路(L)。从气体导入管(27)供给的处理气体通过气体流路(L)，向在凹部(32)与电板极(19)之间形成的中空部扩散，从而进行供气。