公开(公告)号：CN101689480A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200880020488.7

申请日：2008-06-27

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 住田正直 ,  林秀生

IPC: H01L21/027 ,  B01D61/14 ,  B01D71/02 ,  G03F7/42 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/422 ,  B01D61/027

Abstract: 本发明要解决的课题是提供：不进行剥离液交换、即使进行长时间剥离，用于抗蚀剂剥离的剥离液中的抗蚀剂成分的浓度处于一定浓度范围内的系统。采用剥离液进行正型抗蚀剂剥离时，剥离液中溶解的抗蚀剂成分，采用特定的陶瓷过滤器(5)进行错流过滤使其减少。而且，剥离工序生成的含抗蚀剂成分的剥离液，在过滤工序进行处理，副产的抗蚀剂成分浓度被浓缩的浓缩剥离液适当排至体系外，向被除去抗蚀剂成分的处理剥离液中适当添加新剥离液后的剥离液，再度于剥离工序中使用，从而完成抗蚀剂剥离系统。