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公开(公告)号：CN116261688A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202180065410.2
申请日：2021-09-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的目的在于，提供兼具显影后的残渣抑制、显影后的开口图案尺寸的窄掩模偏置抑制、热固化后的图案形状的低锥度化、及优异的半色调特性的感光性树脂组合物。感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂及(C)感光剂、该(C)感光剂含有(C1)光聚合引发剂，该(A)碱溶性树脂含有(A3)具有酚式羟基的树脂，该(A3)具有酚式羟基的树脂含有(A3x)具有至少含2个酚式羟基的结构单元的树脂。
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公开(公告)号：CN110392864B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201880015518.9
申请日：2018-03-27
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , C08F2/44 , C08F20/20 , C08F291/00 , G02F1/1335 , G02F1/1339 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/20 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , H10K71/00 , H10K59/126 , H10K59/122 , H10K50/00
Abstract: 本发明的目的在于得到敏感度高、能够在显影后及热固化后形成低锥度形状的图案、能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度变化、且遮光性优异的固化膜及形成其的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(Da)黑色剂，(A)碱溶性树脂含有(A1)第一树脂，所述(A1)第一树脂包含选自由(A1‑1)聚酰亚胺、(A1‑2)聚酰亚胺前体、(A1‑3)聚苯并噁唑、(A1‑4)聚苯并噁唑前体及(A1‑5)聚硅氧烷组成的组中的一种以上，(B)自由基聚合性化合物含有选自由(B1)含有芴骨架的自由基聚合性化合物及(B2)含有茚满骨架的自由基聚合性化合物组成的组中的一种以上。
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公开(公告)号：CN107429058B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201680017449.6
申请日：2016-04-20
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物含有：(A1)具有特定的结构单元的碱溶性树脂；(A2)选自由具有与前述碱溶性树脂的反应性基团反应的取代基的聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物组成的组中的一种以上的树脂；及(B)感光剂，相对于100重量份的树脂(A1)而言，树脂(A2)为310～2000重量份。本发明提供一种可适合地用作即使在高温工艺处理后也可维持高分辨率和图案的形状、在工艺处理后可剥离的光致抗蚀剂的树脂组合物。
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公开(公告)号：CN109642089A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780050820.3
申请日：2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09B67/08 , C09B57/00 , C09B67/20 , C09B67/46 , C09B67/54 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/037 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供能够在抑制显影残渣产生的情况下将像素分割层形成图案的黑色颜料。黑色颜料具有：包含(a)选自由苯并二呋喃酮系黑色颜料、苝系黑色颜料、偶氮系黑色颜料及它们的异构体组成的组中的至少一种有机黑色颜料的核；和(b)包含二氧化硅、金属氧化物及/或金属氢氧化物的被覆层。
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公开(公告)号：CN104981737A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201480008215.6
申请日：2014-01-22
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0047 , G03F7/033 , G03F7/038
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够碱性显影的感光性树脂组合物，其同时具有可得到高硬度，透明性、耐湿热性、人工汗耐性、密合性、耐化学药品性及真空耐性优异的固化膜，且涂液的保存稳定性良好，在保存中密合性不会降低等性能，所述感光性树脂组合物含有(A)丙烯酸系树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)金属螯合化合物、及(E)溶剂，上述(A)丙烯酸系树脂具有特定结构的源自马来酰亚胺的结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111886544B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201980019019.1
申请日：2019-03-20
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/075 , G03F7/20 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , H10K59/80 , H10K59/10 , H10K71/00
Abstract: 本发明提供固化膜的制造方法，其能够使用负型感光性树脂组合物来形成具有阶差形状的图案，所述固化膜具备具有即使在热固化后在厚膜部与薄膜部也存在足够的膜厚差的阶差形状的图案。另外，本发明提供显示装置的制造方法，其能够制造具备具有前述阶差形状的图案的有机EL显示器。固化膜的制造方法，其依次具有下述工序：(1)在基板上形成负型感光性树脂组合物的具有阶差形状的图案的工序，(2)使所述具有阶差形状的图案进行光固化的工序，以及(3)对所述具有阶差形状的图案进行加热而使其热固化的工序，其中，所述(1)形成图案的工序具有
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公开(公告)号：CN112375400B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202011297632.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09B57/12 , C09B57/00 , C09B67/08 , C09B67/46 , C09B5/62 , C09B7/08 , C09B67/22 , G03F7/004 , G03F7/037 , H01L27/32 , H01L51/52
Abstract: 本申请涉及黑色颜料及其制造方法、颜料分散液、感光性组合物及其固化物。本发明提供能够在抑制显影残渣产生的情况下将像素分割层形成图案的黑色颜料。黑色颜料具有：包含(a)选自由苯并二呋喃酮系黑色颜料、苝系黑色颜料、偶氮系黑色颜料及它们的异构体组成的组中的至少一种有机黑色颜料的核；和(b)包含二氧化硅、金属氧化物及/或金属氢氧化物的被覆层。
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公开(公告)号：CN114460809A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210164389.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂，上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0～23.0的范围内的酸性基团，上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。
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公开(公告)号：CN111886544A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201980019019.1
申请日：2019-03-20
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供固化膜的制造方法，其能够使用负型感光性树脂组合物来形成具有阶差形状的图案，所述固化膜具备具有即使在热固化后在厚膜部与薄膜部也存在足够的膜厚差的阶差形状的图案。另外，本发明提供显示装置的制造方法，其能够制造具备具有前述阶差形状的图案的有机EL显示器。固化膜的制造方法，其依次具有下述工序：(1)在基板上形成负型感光性树脂组合物的具有阶差形状的图案的工序，(2)使所述具有阶差形状的图案进行光固化的工序，以及(3)对所述具有阶差形状的图案进行加热而使其热固化的工序，其中，所述(1)形成图案的工序具有隔着光掩模照射活性化学射线的工序，该光掩模是具有特定图案以及透光部、遮光部和半透光部的半色调光掩模。
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公开(公告)号：CN110462513A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880019517.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F2/48 , G03F1/00 , G03F7/004 , G03F7/037 , G03F7/20 , H01L51/50 , H01L51/52 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供具有遮光性、同时敏感度高、半色调特性优异的感光性树脂组合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂，上述(A)碱溶性树脂含有聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物，上述(B)自由基聚合性化合物含有(B-1)形成均聚物时的玻璃化转变温度为150℃以上的2官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物、及(B-2)除(B-1)以外的4官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物。
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