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公开(公告)号：CN108603847A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201680080331.8
申请日：2016-12-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G01N21/892 , G01B11/30
Abstract: 本发明涉及的片状物的检查装置具有向连续输送的片状物照射照射光的照射机构、对来自片状物的透射光或反射光进行投影的投影机构、对投影至投影机构的投影像进行拍摄的拍摄机构、和根据拍摄机构所拍摄的图像数据来检测片状物中存在的缺陷的数据处理机构，其中，从垂直于片状物的行进面的方向对照射机构进行观察时，所述照射机构的长度方向与片状物的输送方向为相同的方向，所述照射机构照射沿片状物的片材宽度方向扩展的光。
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