公开(公告)号：CN115003421B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202080093813.3

申请日：2020-09-30

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 元井昌司 ,  野村和夫 ,  内田新也

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  H01M4/04

Abstract: 本发明提供一种能够形成涂布开始部和涂布结束部的膜厚的偏差少的涂布膜的涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布装置具有：供给阀(41)，从供给机构(20)向该供给阀(41)的入口侧供给涂布液(3)，该供给阀(41)的出口侧与模头(10)连接，内部的阀芯(42)的位置根据轴的动作而变化，能够对该供给阀(41)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制；以及回流阀(51)，从供给机构(20)向该回流阀(51)的入口侧供给涂布液(3)，该回流阀(51)的出口侧与使涂布液(3)向罐(22)返回的配管即回流配管(24)连接，内部的阀芯(52)的位置根据轴的动作而变化，能够对该回流阀(51)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制，使供给阀(41)的阀芯(42)移动的驱动源为马达方式，使回流阀(51)的阀芯(52)移动的驱动源为气动方式，供给阀(41)的阀芯(42)的移动速度比回流阀(51)的阀芯(52)的移动速度快。

公开(公告)号：CN115003421A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202080093813.3

申请日：2020-09-30

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 元井昌司 ,  野村和夫 ,  内田新也

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  H01M4/04

Abstract: 本发明提供一种能够形成涂布开始部和涂布结束部的膜厚的偏差少的涂布膜的涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布装置具有：供给阀(41)，从供给机构(20)向该供给阀(41)的入口侧供给涂布液(3)，该供给阀(41)的出口侧与模头(10)连接，内部的阀芯(42)的位置根据轴的动作而变化，能够对该供给阀(41)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制；以及回流阀(51)，从供给机构(20)向该回流阀(51)的入口侧供给涂布液(3)，该回流阀(51)的出口侧与使涂布液(3)向罐(22)返回的配管即回流配管(24)连接，内部的阀芯(52)的位置根据轴的动作而变化，能够对该回流阀(51)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制，使供给阀(41)的阀芯(42)移动的驱动源为马达方式，使回流阀(51)的阀芯(52)移动的驱动源为气动方式，供给阀(41)的阀芯(42)的移动速度比回流阀(51)的阀芯(52)的移动速度快。