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公开(公告)号:CN100355026C
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN00816776.1
申请日:2000-10-06
Abstract: 一种多晶态硅膜的制造方法,包括下列步骤:在玻璃衬底(31)上形成具有第一区(33a)和与该第一区(33a)相接的第二区(33b)的非晶态硅膜(33)的步骤;在上述非晶态硅膜(33)的第一区(33a)上照射波长为390nm以上、640nm以下的激光(35),形成第一多晶态部分(34a)的步骤;以及在非晶态硅膜(33)的第二区(33b)和与该第二区(33b)相接的上述第一多晶态部分(34a)的一部分区域上照射设置为390nm以上、640nm以下的激光(35),与第一多晶态部分(34a)相接地形成第二多晶态部分(34b)的步骤。
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公开(公告)号:CN102470481B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN200980160034.4
申请日:2009-07-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/36 , B23K26/146
Abstract: 目的在于提供一种在通过激光来对基板上的薄膜进行划线加工的情况下不需要大型的集尘器、大量的清洗液而正确地进行微细的划线加工的激光加工方法以及装置。通过透镜(102)对来自激光光源(160)的激光(101)进行聚光、从配管(111)的窗部(147)导入、在清洗液(112)中进行传播来从喷嘴(113)进行照射,并且以聚光的激光(101)的光轴为大致中心、以不与聚光的激光光束(101)接触的大小的内径设置的喷嘴(113)喷射从液流控制部(170)供给的清洗液(112)来进行划线加工。
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公开(公告)号:CN103179312A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210021927.4
申请日:2012-02-01
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G03G15/60 , H04N2201/0434
Abstract: 本发明提供一种景深大并且小型的图像读取装置。一种图像读取装置,具备光源(2)、成像光学系统(1)、摄像元件部(41)、存储器(5)、以及处理装置(6),在成像光学系统(1)中,在主扫描方向(211)上配置了作为分别独立的光学系统的多个单元(11),在副扫描方向(212)上排列为2列,其中,在各单元中,从原稿(7)依次配置了第1反射型聚光光学元件(100)、第1平面镜(105)、光圈(101)、第2反射型聚光光学元件(102),并且将光圈(101)配置于第1反射型聚光光学元件(100)的后侧焦点位置处而形成了在所述原稿侧远心的光学系统。
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公开(公告)号:CN101981910A
公开(公告)日:2011-02-23
申请号:CN200880128318.0
申请日:2008-03-31
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H04N1/195 , H04N1/0306 , H04N1/0312 , H04N1/1903 , H04N1/19515 , H04N1/19584 , H04N1/19589 , H04N2201/0434
Abstract: 图像读取装置具备光源(2)、成像光学系统(1)、摄像元件部(41)、存储器(5)和处理装置(6)。所述成像光学系统是将由被摄像体反射的散射光进行聚光并成像为图像的光学系统,具有在原稿侧形成了远心的光学系统的多个单元(11)等,该多个单元是在主扫描方向(211)上配置多个且各自独立的成像光学系统,在副扫描方向(212)上将所述单元排列为两列。以能够在所述副扫描方向上的各单元之间补足成像图像的方式在所述主扫描方向上将各列的各单元配置为锯齿状。所述摄像元件部被配置成对应于各个所述单元。所述处理装置将存储在所述存储器中的图像信息复原并合成为图像而制作原稿图像。
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公开(公告)号:CN103179312B
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201210021927.4
申请日:2012-02-01
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G03G15/60 , H04N2201/0434
Abstract: 本发明提供一种景深大并且小型的图像读取装置。一种图像读取装置,具备光源(2)、成像光学系统(1)、摄像元件部(41)、存储器(5)、以及处理装置(6),在成像光学系统(1)中,在主扫描方向(211)上配置了作为分别独立的光学系统的多个单元(11),在副扫描方向(212)上排列为2列,其中,在各单元中,从原稿(7)依次配置了第1反射型聚光光学元件(100)、第1平面镜(105)、光圈(101)、第2反射型聚光光学元件(102),并且将光圈(101)配置于第1反射型聚光光学元件(100)的后侧焦点位置处而形成了在所述原稿侧远心的光学系统。
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公开(公告)号:CN103891262A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201280052271.0
申请日:2012-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H04N1/02815 , F21K9/64 , F21V7/06 , G02B6/0031 , G02B19/0023 , G02B19/0028 , G02B19/0066 , G03B27/54 , H04N1/0285 , H04N1/02865 , H04N1/02895 , H04N1/0305
Abstract: 本发明的照明单元(2)具备:LED阵列(220),该LED阵列(220)的发光元件在主扫描方向上配置成阵列状;圆筒抛物面反射镜(20),该圆筒抛物面反射镜(20)将从LED阵列(220)射出的光照射至被照明体的照明区域;以及壳体,该壳体收纳或保持LED阵列(220)及圆筒抛物面反射镜(20)。圆筒抛物面反射镜(20)形成为使得在副扫描方向(12)上具有曲率的圆筒抛物面形状为用与圆筒抛物面形状的顶点相垂直的轴面沿主扫描方向(11)切取而得到的形状。LED阵列(220)配置为使得其发光方向的中心轴垂直于轴面,其发光区域包含圆筒抛物面形状的焦点位置。
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公开(公告)号:CN102893409A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201080066804.1
申请日:2010-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/18 , H01L31/02363 , Y02E10/50
Abstract: 为了高速且高精度地形成逆金字塔状的纹理构造,利用抗蚀刻膜的激光构图和湿蚀刻而在使用了单晶硅的光电动势装置表面形成防反射纹理时,使用脉冲激光和激光波束分支部件,在成为所期望的金字塔状凹部的底面的正方形的对角线方向上加工多个激光孔,使各正方形之间的激光孔的间距大于所述对角线上的间距。
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公开(公告)号:CN101743740B
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN200880024576.4
申请日:2008-03-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G03B27/50 , G02B3/005 , G02B5/10 , H04N1/02845 , H04N1/03 , H04N1/0305 , H04N1/0306 , H04N1/193 , H04N1/1934 , H04N1/1935
Abstract: 本发明提供一种景深大且小型的图像读取装置。这样的图像读取装置具有多个单元(13)和与各单元对应地设置且对成像后的像进行摄像的摄像元件(8)。各单元具有:具有第一焦距(f1)的第一透镜(3);从第一透镜隔开第一焦距的光圈(5);以及以比第一焦距小的第二焦距(f2)相对于摄像元件设置的第二透镜(4)。
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公开(公告)号:CN103907336B
公开(公告)日:2017-05-03
申请号:CN201280052581.2
申请日:2012-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H04N1/028
CPC classification number: H04N1/19 , H04N1/0303 , H04N1/0305 , H04N2201/0081 , H04N2201/02456 , H04N2201/0246 , H04N2201/02483 , H04N2201/02485 , H04N2201/02493
Abstract: 本发明的图像读取装置包括:第一反射镜透镜(7),该第一反射镜透镜(7)呈凹型,沿主扫描方向配置为阵列状,对由被照射体(1)反射的光的散射光进行平行校准,并将其作为朝副扫描方向倾斜的大致平行的光束进行反射;平面镜(8),该平面镜(8)反射来自第一反射镜透镜(7)的光;孔镜(9),该孔镜(9)配置为阵列状,经由通过对周围进行遮光来选择性地使光通过的配置为阵列状的开口部(10)使来自平面镜(8)的光通过;第二反射镜透镜(11),该第二反射镜透镜(11)呈凹型,且配置为阵列状,来自孔镜(9)的光入射到该第二反射镜透镜(11),并作为聚合光被反射;以及光接收部,该光接收部具有入射来自第二反射镜透镜(11)的光,且与来自开口部(10)的光相对应地进行成像的光接收区域。
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公开(公告)号:CN103907336A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201280052581.2
申请日:2012-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H04N1/028
CPC classification number: H04N1/19 , H04N1/0303 , H04N1/0305 , H04N2201/0081 , H04N2201/02456 , H04N2201/0246 , H04N2201/02483 , H04N2201/02485 , H04N2201/02493
Abstract: 本发明的图像读取装置包括:第一反射镜透镜(7),该第一反射镜透镜(7)呈凹型,沿主扫描方向配置为阵列状,对由被照射体(1)反射的光的散射光进行平行校准,并将其作为朝副扫描方向倾斜的大致平行的光束进行反射;平面镜(8),该平面镜(8)反射来自第一反射镜透镜(7)的光;孔镜(9),该孔镜(9)配置为阵列状,经由通过对周围进行遮光来选择性地使光通过的配置为阵列状的开口部(10)使来自平面镜(8)的光通过;第二反射镜透镜(11),该第二反射镜透镜(11)呈凹型,且配置为阵列状,来自孔镜(9)的光入射到该第二反射镜透镜(11),并作为聚合光被反射;以及光接收部,该光接收部具有入射来自第二反射镜透镜(11)的光,且与来自开口部(10)的光相对应地进行成像的光接收区域。
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