线放电加工机及线放电加工方法

    公开(公告)号:CN109041572A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201780003444.2

    申请日:2017-04-11

    Inventor: 糸数笃 原正行

    Abstract: 一种线放电加工机,其在被加工物和线电极之间发生放电而对所述被加工物进行加工,该线放电加工机具有:驱动控制装置(20),其对线电极与被加工物的相对距离进行控制;极间平均加工电压检测部(40),其对线电极和被加工物之间的极间平均加工电压进行检测;加工速度控制部(43),其基于极间平均加工电压和预先设定的目标电压,对驱动控制装置进行控制;以及电压校正部,其基于加工中的加工信息和加工方向,对极间平均加工电压或者目标电压的任意者进行校正,以使得与加工方向无关地使线电极和被加工物之间的侧面间隙成为恒定。

    多线放电加工机、多线放电加工方法、薄板制造方法及半导体晶片制造方法

    公开(公告)号:CN118475428A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202280086071.0

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 多线放电加工机具有:多个引导辊,其供线电极卷绕多次,对线电极的行进进行引导;加工电源,其在多个切断线部的每一者与被加工物(2)之间施加电压,多个切断线部是线电极中的在多个引导辊所包含的第1引导辊及第2引导辊之间平行的部分;哑工件(25),其包含以能够与被加工物(2)的曲面中的除了在被加工物(2)加工结束时多个切断线部的每一者所到达的终点之外的部分接触的方式弯曲的接触面,哑工件(25)从被加工物(2)相对于多个切断线部移动的方向即第1方向上的一侧对被加工物(2)进行支撑;以及按压机构(26),其具有能够与被加工物(2)的曲面接触的按压部(28),按压机构(26)从第1方向上的另一侧使按压部(28)与被加工物(2)接触而向哑工件(25)侧按压被加工物(2)。

    加工控制装置、线放电加工装置及线放电加工方法

    公开(公告)号:CN108698146B

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201680081273.0

    申请日:2016-02-12

    Abstract: 加工控制装置(110-1)具有:电压检测部(20),其检测对被加工物施加脉冲电压时的极间平均加工电压(11)的变化点;以及电压校正部(50-1),其以对被加工物的板厚变化位置处的被加工物的加工速度的降低进行抑制的方式对电压校正增益(VC)进行运算,由此输出对变化点处的极间平均加工电压(11)的值进行校正得到的电压校正量,加工控制装置对在板厚变化的被加工物的板厚变化位置的加工面产生加工条纹进行抑制。

    线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN115916444A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202080102529.8

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动,具有:1根线电极(1),其绕多个引导辊(2)卷绕多次,由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a);放电波形控制装置(32),其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制;线行进控制装置(35),其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制;切断台驱动装置(34),其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制;加工状态取得部(33),其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息;以及加工控制装置(31),其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。

    加工控制装置、线放电加工装置及线放电加工方法

    公开(公告)号:CN108698146A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201680081273.0

    申请日:2016-02-12

    Abstract: 加工控制装置(110-1)具有:电压检测部(20),其检测对被加工物施加脉冲电压时的极间平均加工电压(11)的变化点;以及电压校正部(50-1),其以对被加工物的板厚变化位置处的被加工物的加工速度的降低进行抑制的方式对电压校正增益(VC)进行运算,由此输出对变化点处的极间平均加工电压(11)的值进行校正得到的电压校正量,加工控制装置对在板厚变化的被加工物的板厚变化位置的加工面产生加工条纹进行抑制。

    线电极放电加工装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104053520B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201280067416.4

    申请日:2012-12-17

    CPC classification number: B23H7/06 B23H1/028 B23H7/02 B23H7/10

    Abstract: 在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件,该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离,选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极,驱动单元构成为,在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物,通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。

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