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公开(公告)号:CN1287381A
公开(公告)日:2001-03-14
申请号:CN00118744.9
申请日:2000-06-23
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/324 , C30B33/02
CPC classification number: B23K26/0732 , B23K2101/40 , H01L21/02675 , H01L21/2026
Abstract: 在激光热处理方法中,提供控制形成高性能薄膜用的激光照射剖面的光学系统。在向形成于基板上的膜上照射长方形束的光学系统中,通过用强度分布成形装置使长度方向的强度分布均匀,短边方向保持振荡激光的定向性等向的结构,能在振荡激光性质限制的界限内进行聚光,在基板上的膜上得到最大限度的强度梯度。因此,可在基板上的膜上形成陡峻的温度分布,其结果,可形成高性能薄膜。
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公开(公告)号:CN1737641A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200410058222.5
申请日:2004-08-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种立体图像显示装置,在图像数据的输入速率低的立体图像显示装置中,不产生闪烁或双重图像,而且存储器的必要容量小。本发明的立体图像显示装置的特征在于,对左右的视差图像数据进行压缩编码,把压缩图像数据存储在帧存储器中,把对应于相同的显示选通行的左眼用压缩图像数据和右眼用压缩图像数据分别每次读出一个选通行部分进行解码,在1帧期间内,把1次的左右输入视差图像数据作为左右交替的场分别进行多次显示。
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公开(公告)号:CN100406963C
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200410058222.5
申请日:2004-08-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种立体图像显示装置,在图像数据的输入速率低的立体图像显示装置中,不产生闪烁或双重图像,而且存储器的必要容量小。本发明的立体图像显示装置的特征在于,对左右的视差图像数据进行压缩编码,把压缩图像数据存储在帧存储器中,把对应于相同的显示选通行的左眼用压缩图像数据和右眼用压缩图像数据分别每次读出一个选通行部分进行解码,在1帧期间内,把1次的左右输入视差图像数据作为左右交替的场分别进行多次显示。
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公开(公告)号:CN1146027C
公开(公告)日:2004-04-14
申请号:CN00118744.9
申请日:2000-06-23
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/324 , C30B33/02 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/0732 , B23K2101/40 , H01L21/02675 , H01L21/2026
Abstract: 光学系统及其装置和使用该光学系统制造半导体装置的方法。在激光热处理方法中,提供控制形成高性能薄膜用的激光照射剖面的光学系统。在向形成于基板上的膜上照射长方形束的光学系统中,通过用强度分布成形装置使长度方向的强度分布均匀,短边方向保持振荡激光的定向性等向的结构,能在振荡激光性质限制的界限内进行聚光,在基板上的膜上得到最大限度的强度梯度。因此,可在基板上的膜上形成陡峻的温度分布,其结果,可形成高性能薄膜。
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