公开(公告)号：CN1956162A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610164127.2

申请日：2006-10-11

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 阪本弘和 ,  荒木利夫 ,  青木理 ,  森田浩正

IPC: H01L21/683

Abstract: 在对会因电荷而产生不良的衬底实施预定处理的工序中，防止该衬底带电，并且进行控制使得在从该衬底除去电荷时流动的电流不超过预定值，结果能提高制造的器件的成品率。本发明的衬底保持装置具有保持衬底201的卡盘101和支撑卡盘101的旋转轴104，用105Ωcm～1010Ωcm的电阻率值的材料形成卡盘101的和衬底201的接触部中电阻率值最低的部分，该电阻率值最低的部分通过旋转轴104接地。

公开(公告)号：CN100474552C

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200610164127.2

申请日：2006-10-11

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 阪本弘和 ,  荒木利夫 ,  青木理 ,  森田浩正

IPC: H01L21/683

Abstract: 在对会因电荷而产生不良的衬底实施预定处理的工序中，防止该衬底带电，并且进行控制使得在从该衬底除去电荷时流动的电流不超过预定值，结果能提高制造的器件的成品率。本发明的衬底保持装置具有保持衬底201的卡盘101和支撑卡盘101的旋转轴104，用105Ωcm～1010Ωcm的电阻率值的材料形成卡盘101的和衬底201的接触部中电阻率值最低的部分，该电阻率值最低的部分通过旋转轴104接地。