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1.

发明公开
探针无效

公开(公告)号：CN110036299A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201780069227.3

申请日：2017-11-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 浅野佳江 , 滨口恒夫 , 石田清 , 中川正贡

IPC: G01R1/067 , H01L21/66

Abstract: 探针(1)具备柱塞(10)、螺旋弹簧(20)及连接构件(30)。连接构件(30)具有面向柱塞(10)的第三端部(12)的第一端面(32)和面向螺旋弹簧(20)的第四端部(21)的第二端面(33)。第一端面(32)与第三端部(12)点接触。第三端部(12)及第一端面(32)中的至少一个在第三端部(12)与第一端面(32)之间的第一接触部包括第一球面的一部分。第二端面(33)构成为不扩展第四端部(21)处的螺旋弹簧(20)的内径及外径。因此，探针(1)具有较长的寿命。

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