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公开(公告)号：CN1769514A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510117357.9
申请日：2005-11-03
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243
Abstract: 本发明提供了一种加热熔罐和一种沉积装置，加热熔罐具有均匀的沉积速率和优良的可重复性。该沉积装置的加热熔罐包括：钛主体，具有内腔和开口，内腔用于容纳要被沉积的材料，开口用于喷射要被沉积的材料；导线，用于加热主体；绝缘体，用于使主体与导线绝缘。
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