具有竖直护板结构的半导体器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113299659A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202011538276.7

    申请日:2020-12-23

    Abstract: 可以提供一种半导体器件,该半导体器件包括:衬底,其包括单元阵列区和贯通电极区;电极堆叠件,其位于衬底上,并且包括电极;竖直结构,其在单元阵列区内穿过电极堆叠件;竖直护板结构,其位于延伸区内,并且围绕贯通电极区;以及绝缘层,其位于由竖直护板结构限定的周边内部,并且与位于电极同一水平。电极可以包括第一突起,其在平面图中在竖直护板结构之间突出。

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