公开(公告)号：CN1895971A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200610093871.8

申请日：2006-06-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹起天 ,  黄焕杰 ,  金裕锡 ,  金璡其 ,  李仁浩 ,  李亨 ,  郑胜日

IPC: B65G37/00 ,  B65G35/00 ,  B65G49/00 ,  B65G47/90 ,  G02F1/133

CPC classification number: B65G35/06 ,  B65G2201/022 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778

Abstract: 一种用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的衬底的系统。该系统包括：传送其中装载衬底的传送容器的传送装置；容器装载和卸载装置，该容器装载和卸载装置将容器装载在传送装置上并从传送装置卸载容器；和衬底装载和卸载装置，该衬底装载和卸载装置在容器和位于各个站处的处理设备之间传送衬底。该传送装置包括：安装在设施地板上的轨道；和利用直线电动机沿轨道可编程运动的多个轮式车。该系统能够使衬底传送时间得到实质减小，并在整个传送过程提供对衬底的坚固保护。