公开(公告)号：CN110852983B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN201910501571.6

申请日：2019-06-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许仁 ,  朴民哲 ,  李泰昊 ,  郑椙旭 ,  黄灿永

IPC: G06T7/00 ,  G06N3/0464 ,  G06V10/762 ,  G06V10/82

公开(公告)号：CN110852983A

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201910501571.6

申请日：2019-06-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许仁 ,  朴民哲 ,  李泰昊 ,  郑椙旭 ,  黄灿永

IPC: G06T7/00 ,  G06N3/04 ,  G06K9/62

Abstract: 一种用于检测半导体装置中的缺陷的方法包括：使用从第一数据集提取的采样的干净数据集对预训练卷积神经网络(CNN)模型进行预训练；使用第一数据集的第一数据和预训练CNN模型来训练正常CNN模型和标签噪声CNN模型。所述方法还包括：使用第二数据集的第二数据和正常CNN模型输出关于第二数据是好还是坏的第一预测结果；使用第二数据和标签噪声CNN模型输出关于第二数据是好还是坏的第二预测结果。将第一预测结果与第二预测结果进行比较，以在存在标签差异时执行噪声校正。将作为噪声校正的结果创建的第三数据添加到采样的干净数据集。使用添加了第三数据的采样的干净数据集对正常CNN模型和标签噪声CNN模型进行附加地训练。