用于检查半导体器件的检查装置和方法

    公开(公告)号:CN113567774A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110450857.3

    申请日:2021-04-25

    Abstract: 公开了用于检查半导体器件的检查装置和方法。检查装置包括:载物台,其上布置有半导体器件;第一光源,其将高频光照射到半导体器件的检查区域上,以减小半导体器件中的PN结的势垒;束扫描器,被布置在半导体器件上方,并且将带电粒子束照射到半导体器件的检查区域上以产生二次电子;以及,缺陷检测器,其产生与检查区域相对应的检测图像,并且基于参考图像和多个检测图像之间的电压对比,从多个检测图像中检测缺陷图像,缺陷图像指示半导体器件的缺陷。

    电子设备以及用于在电子设备中充电和放电的方法

    公开(公告)号:CN106797131A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201580054428.7

    申请日:2015-10-06

    Inventor: 金钟敏

    Abstract: 提供了一种电子设备。所述电子设备包括:连接端子,充电电缆或者放电电缆能够连接到连接端子;充电/放电单元,被配置为执行充电操作或者放电操作;以及控制器,被配置为基于连接到连接端子的充电电缆或者放电电缆执行充电操作或者放电操作。

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