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公开(公告)号：CN119085482A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202410597316.7
申请日：2024-05-14
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种半导体测量设备包括：照明单元；光接收单元；以及控制单元，其被配置为：生成表示原始图像的预测等式，其中，预测等式基于米勒矩阵的多个元素，将米勒矩阵的多个元素中的每一个近似到包括泽尔尼克多项式的基和系数的多项式，基于系数之和以及预测等式和原始图像之间的差来生成优化系数，基于优化系数和最小值确定优化条件是否被满足，以及当优化条件被满足时基于优化系数和基来选择尺寸。
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