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公开(公告)号：CN118139404A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311471341.2
申请日：2023-11-07
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了被配置为实现高精度安装的安装装置和安装方法。可以提供安装装置，该安装装置包括接合致动器，该接合致动器具有：壳体；滑动件，其以非接触状态被容纳在壳体中并且设置有头；非接触状态下的线圈和磁轭；在X轴方向上驱动的两个音圈电机(VCM)，在Y轴方向上驱动的三个VCM，以及在Z轴方向上驱动的一个VCM。线圈可以固定到壳体，磁轭可以固定到滑动件。接合致动器可以在通过在六个轴向方向上驱动滑动件来调整芯片和晶圆的相对位置和平行度的同时执行接合，六个轴向方向包括X轴方向、Y轴方向、Z轴方向、Tx方向、Ty方向和Tz方向。
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