公开(公告)号：CN117085512A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310534964.3

申请日：2023-05-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔友泳 ,  申哲珉 ,  梁承龙 ,  李胤行 ,  咸昌烈

IPC: B01D65/02 ,  C02F1/44 ,  C02F103/04

Abstract: 提供了一种清洁超滤膜模块的方法和超纯水制造系统的管理方法。该清洁超滤膜模块的方法包括：在超滤膜模块中安装超滤膜；将去离子水供应至超滤膜模块；以及通过增大/减小供应至超滤膜模块的去离子水的流率用去离子水冲洗超滤膜模块。

公开(公告)号：CN116631894A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202211717579.4

申请日：2022-12-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  孙侊远 ,  张智恩 ,  崔友泳 ,  朴恩惠

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种流体供应系统包括被构造为供应第一流体的第一流体源、被构造为供应第二流体的第二流体源、被构造为在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换的热交换器、被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体的第一流体回收罐以及被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐的第一输送管。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。

公开(公告)号：CN116639764A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310128225.4

申请日：2023-02-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  申哲珉 ,  咸昌烈 ,  张智恩

IPC: C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F101/10 ,  C02F103/04

Abstract: 一种用于生产超纯水的系统的管理方法，该系统包括具有容纳空间的除硼塔和填充除硼塔的容纳空间的硼吸附树脂，待处理水穿过该容纳空间，并且除硼塔包括多个样本端口，穿过硼吸附树脂的具有不同高度的部分的多个样本待处理水分别通过多个样本端口排出，并且通过增加除硼塔的穿过流速来确定硼吸附树脂的更换周期。

公开(公告)号：CN116621359A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310122585.3

申请日：2023-02-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  申哲珉 ,  梁承龙 ,  崔友泳 ,  咸昌烈

IPC: C02F9/00 ,  C02F1/66 ,  C02F1/44 ,  C02F1/42 ,  C02F1/30 ,  C02F1/32 ,  C02F103/04

Abstract: 一种超纯水制造设备包括：第一罐；多个反渗透膜，所述多个反渗透膜顺序地布置在所述第一罐的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述多个反渗透膜的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述电去离子装置的下游并且填充有硼选择性树脂；以及化学品供应器，所述化学品供应器布置在所述多个反渗透膜之间并且被配置为向处理目标水供应pH调节剂。