公开(公告)号：CN106972017B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201710006922.7

申请日：2017-01-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李基硕 ,  沈正燮 ,  李旻娥 ,  洪镇宇 ,  朴济民 ,  成慧真 ,  吴承玟 ,  李到泳 ,  李知承 ,  李进成

IPC: H01L27/108

Abstract: 本公开提供了半导体器件。一种半导体器件包括：基板，包括间隔开的有源区以及使有源区彼此隔离的器件隔离区；和柱阵列图案，包括交叠有源区的多个柱图案，该多个柱图案在第一方向上和在交叉第一方向的第二方向上以相等的距离彼此间隔开，其中该多个柱图案包括在第一方向上和在第二方向上交替地设置的第一柱图案和第二柱图案，第一柱图案的水平横截面的形状不同于第二柱图案的水平横截面的形状。

公开(公告)号：CN106972017A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201710006922.7

申请日：2017-01-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李基硕 ,  沈正燮 ,  李旻娥 ,  洪镇宇 ,  朴济民 ,  成慧真 ,  吴承玟 ,  李到泳 ,  李知承 ,  李进成

IPC: H01L27/108

CPC classification number: H01L27/10885 ,  H01L27/10814 ,  H01L27/10823 ,  H01L27/10855 ,  H01L27/10891 ,  H01L27/10805

Abstract: 本公开提供了半导体器件。一种半导体器件包括：基板，包括间隔开的有源区以及使有源区彼此隔离的器件隔离区；和柱阵列图案，包括交叠有源区的多个柱图案，该多个柱图案在第一方向上和在交叉第一方向的第二方向上以相等的距离彼此间隔开，其中该多个柱图案包括在第一方向上和在第二方向上交替地设置的第一柱图案和第二柱图案，第一柱图案的水平横截面的形状不同于第二柱图案的水平横截面的形状。