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公开(公告)号:CN116978900A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202310417343.7
申请日:2023-04-18
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L21/033 , H01L27/092
Abstract: 一种半导体器件包括:基板,包括键区域;虚设有源图案,提供在键区域上;虚设沟道图案,提供在虚设有源图案上,虚设沟道图案包括彼此间隔开的第一多个半导体图案;外延图案,连接到虚设沟道图案;以及第一子键图案,提供在虚设沟道图案上。第一子键图案围绕第一多个半导体图案中的每个的顶表面、底表面和侧表面。