公开(公告)号：CN1794092A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200510126974.5

申请日：2005-11-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 文昌郁 ,  金东洙 ,  宋命坤 ,  李升运 ,  吴润相

IPC: G03F7/20

CPC classification number: H01J37/067 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/22 ,  H01J37/145 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/31776 ,  H01J2237/31777 ,  H01J2237/31781

Abstract: 本发明提供一种电磁聚焦装置和使用该电磁聚焦装置的电子束光刻系统，其能够通过移动极片的中心部分调节电磁场的均匀性。该电磁聚焦装置控制从电子束光刻系统的电子束发射器产生的电子束的路径。在该电磁聚焦装置中，磁场生成器形成真空室中的磁场，该真空室围绕出晶片安装于其中的空间。上和下极片分别穿透该真空室的顶和底壁，彼此面对地安装，且将形成在磁场生成器处的磁场施加到该真空室中。真空室中磁场的均匀性可以通过该上和下极片相对于该真空室的垂直移动来调节。