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发明公开
在干气体环境中测试对象的装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN114660430A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202111439121.2

申请日：2021-11-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘潭 , 金在显 , 李先味 , 权贤民 , 李相骏

IPC: G01R31/26

Abstract: 一种用于测试对象的装置可以包括：测试室、第一室、第二室和供气模块。所述测试室容纳用于测试对象的测试板。所述第一室在所述测试室下方并容纳所述测试板的下表面。所述第二室围绕所述第一室，以使所述第一室与环境气体隔离。所述供气模块向所述第二室供应干气体，以提供高于环境压力的正压，从而防止环境气体渗入所述第一室。因此，在低温下测试所述对象期间，所述第二室可以防止潮湿环境气体渗入所述第一室，以防止水在所述测试板的下表面上的冷凝。

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