公开(公告)号：CN101131495A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200710143065.1

申请日：2007-08-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 黄泰亨 ,  伊万·尼库林 ,  全亨一 ,  金相日 ,  卢南锡

IPC: G02F1/1333 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L27/127 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1218 ,  H01L29/78603

Abstract: 一种用于LCD的显示面板的制造方法，包括：在柔性绝缘基板上形成栅极线；在栅极线上沉积栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成半导体层；以及在半导体层和栅极绝缘层上形成数据线和漏电极。半导体层的形成可以在大约100℃至大约180℃通过PECVD来完成，栅极绝缘层可具有大约2000至5500的厚度。该方法进一步包括：在沉积栅极绝缘层之后在栅极绝缘层上执行氢等离子体处理；以及在形成数据线和漏电极之后对具有多个薄膜的基板进行退火。绝缘基板可含有PES。