搬运设备测试系统及方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117606822A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202410096074.3

    申请日:2024-01-24

    发明人: 龚昱 余君山

    摘要: 本发明提供一种搬运设备测试系统及方法,涉及搬运设备测试技术领域,搬运设备测试系统包括测试模块;测试模块包括道路模拟单元,道路模拟单元包括惯性轮组件、行进轮踏面轮片和制动组件;惯性轮组件包括主轴和惯性轮,惯性轮套设在主轴上;行进轮踏面轮片套设在主轴上,且行进轮踏面轮片设置在惯性轮的两侧;制动组件设置在主轴的一端,制动组件能够对惯性轮组件进行制动减速。行进轮踏面轮片和惯性轮组件配合模拟搬运设备的实际运行轨道,能够对搬运设备的待测试行走单元进行动力性能的相关测试,并且,制动组件与惯性轮组件能够配合实时连续地调节阻力,能够模拟不同工况下的运行环境。无需专门架设测试轨道即可实现测试,能够降低测试成本。

    晶圆扫描装置及其扫描方法

    公开(公告)号:CN117352441B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311657781.7

    申请日:2023-12-06

    发明人: 龚昱 朱飞 余君山

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本申请涉及晶圆半导体技术领域,尤其涉及一种晶圆扫描装置及其扫描方法。晶圆扫描装置包括放置晶圆料盒的装载平台,晶圆料盒的一侧开口;升降门及升降门驱动机构,升降门正对晶圆料盒的开口侧;安装于升降门上的扫描模块,其包括沿升降门的高度方向上下间隔设置的副扫描模块和主扫描模块,主扫描模块的扫描速度V1大于副扫描模块的扫描速度V2,副扫描模块包括沿晶圆料盒的进深方向依次间隔设置的至少两对扫描传感器;正常快速扫描时,主扫描模块工作;当主扫描模块扫描的晶圆遮挡时间在异常遮挡时间区间内时,副扫描模块启动进行慢扫描工作。解决了现有技术有时会在无需报警的情况下停机报警,而影响工作进程,及工作效率的技术问题。

    一种天车调度数据的传输方法及可读存储介质

    公开(公告)号:CN117376984A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311675289.2

    申请日:2023-12-08

    发明人: 王瑞骥 余君山

    摘要: 本申请提供一种天车调度数据的传输方法及可读存储介质,涉及天车信号传输技术领域,包括:将天车运行的轨道网划分为若干信号区域,每个信号区域关联一个信号基站以确保轨道网任一处均有无线信号覆盖;基于预先存储的轨道网图,处理任一天车发送的携带有自身所在的当前轨道段的识别码和天车标识信息的调度请求,得到调度请求处理结果;基于轨道网图、任一天车所在的当前轨道段的识别码以及天车的天车标识信息,确定任一天车所在的当前轨道段所属的信号区域关联的信号基站,作为目标信号基站;仅通过目标信号基站,将调度请求处理结果转发给对应的天车。本申请可同时对多辆天车发送的调度请求进行处理且高效的进行天车与服务器之间的数据传输。

    晶圆扫描装置及其扫描方法

    公开(公告)号:CN117352441A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311657781.7

    申请日:2023-12-06

    发明人: 龚昱 朱飞 余君山

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本申请涉及晶圆半导体技术领域,尤其涉及一种晶圆扫描装置及其扫描方法。晶圆扫描装置包括放置晶圆料盒的装载平台,晶圆料盒的一侧开口;升降门及升降门驱动机构,升降门正对晶圆料盒的开口侧;安装于升降门上的扫描模块,其包括沿升降门的高度方向上下间隔设置的副扫描模块和主扫描模块,主扫描模块的扫描速度V1大于副扫描模块的扫描速度V2,副扫描模块包括沿晶圆料盒的进深方向依次间隔设置的至少两对扫描传感器;正常快速扫描时,主扫描模块工作;当主扫描模块扫描的晶圆遮挡时间在异常遮挡时间区间内时,副扫描模块启动进行慢扫描工作。解决了现有技术有时会在无需报警的情况下停机报警,而影响工作进程,及工作效率的技术问题。