发明授权
US09266713B2 MEMS backplate, MEMS microphone comprising a MEMS backplate and method for manufacturing a MEMS microphone
有权
MEMS背板，包括MEMS背板的MEMS麦克风和用于制造MEMS麦克风的方法
- 专利标题： MEMS backplate, MEMS microphone comprising a MEMS backplate and method for manufacturing a MEMS microphone
- 专利标题（中）： MEMS背板，包括MEMS背板的MEMS麦克风和用于制造MEMS麦克风的方法
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申请号： US13261882申请日： 2011-11-14
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公开(公告)号： US09266713B2公开(公告)日： 2016-02-23
- 发明人: Leif Steen Johansen , Jan Tue Ravnkilde , Pirmin Hermann Otto Rombach , Kurt Rasmussen , Dennis Mortensen
- 申请人： Leif Steen Johansen , Jan Tue Ravnkilde , Pirmin Hermann Otto Rombach , Kurt Rasmussen , Dennis Mortensen
- 申请人地址： DE Munich
- 专利权人： EPCOS AG
- 当前专利权人： EPCOS AG
- 当前专利权人地址： DE Munich
- 代理机构： Slater & Matsil, L.L.P.
- 国际申请： PCT/EP2011/070067 WO 20111114
- 国际公布： WO2013/071950 WO 20130523
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; H04R19/00 ; B81C1/00 ; H04R31/00
摘要：
A MEMS backplate enables MEMS microphones with reduced parasitic capacitance. The MEMS backplate includes a central area and a perforation in the central area. A suspension area surrounds the central area at least partially. An aperture is disposed in the suspension area.
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