发明授权
- 专利标题： Nano-structured surface
- 专利标题（中）： 纳米结构表面
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申请号： US13878203申请日： 2011-10-13
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公开(公告)号： US08961799B2公开(公告)日： 2015-02-24
- 发明人: Peter Mardilovich , Anthony M. Fuller , Qingqiao Wei
- 申请人： Peter Mardilovich , Anthony M. Fuller , Qingqiao Wei
- 申请人地址： US TX Houston
- 专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人： Hewlett-Packard Development Company, L.P.
- 当前专利权人地址： US TX Houston
- 代理机构： Hewlett-Packard Patent Development
- 国际申请： PCT/US2011/056049 WO 20111013
- 国际公布： WO2012/054281 WO 20120426
- 主分类号： B44C1/22
- IPC分类号： B44C1/22 ; B82Y40/00 ; B81C1/00
摘要：
A method of forming a nano-structured substrate is provided, the method comprising including forming non-integral nano-pillars on a substrate surface and directionally etching the substrate surface using the non-integral nano-pillars as a mask to form integral nano-structures in the substrate.
公开/授权文献
- US20130186855A1 NANO-STRUCTURED SURFACE 公开/授权日：2013-07-25
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