发明授权
- 专利标题： Encoder that optically detects positional information of a moving body from different optical paths lengths
- 专利标题（中）： 从不同的光路长度光学地检测移动体的位置信息的编码器
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申请号： US13090659申请日： 2011-04-20
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公开(公告)号： US08710425B2公开(公告)日： 2014-04-29
- 发明人: Susumu Makinouchi , Akihiro Watanabe
- 申请人： Susumu Makinouchi , Akihiro Watanabe
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Nikon Corporation
- 当前专利权人： Nikon Corporation
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Oliff PLC
- 优先权： JP2008-273166 20081023
- 主分类号： G01D5/34
- IPC分类号： G01D5/34
摘要：
An encoder emits modulated light from a light source section and lets a first light and a second light separated from the modulated light interfere with each other in a moving grating. In the encoder, the light emitted from the light source section is electrically modulated, and the first light and the second light have different light path lengths.
公开/授权文献
- US20110192964A1 ENCODER 公开/授权日：2011-08-11
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IPC分类:
