发明授权
- 专利标题： Projection optical system with rarefaction compensation
- 专利标题（中）： 投影光学系统具有稀疏补偿
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申请号： US12577635申请日： 2009-10-12
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公开(公告)号： US08432532B2公开(公告)日： 2013-04-30
- 发明人: Hiroyuki Yuuki
- 申请人： Hiroyuki Yuuki
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Canon U.S.A., Inc. IP Division
- 优先权： JP2008-265715 20081014
- 主分类号： G03B27/54
- IPC分类号： G03B27/54
摘要：
The present invention provides a projection optical system for projecting a pattern of an object plane onto an image plane, including a first lens whose refractive index irreversibly increases by ultraviolet irradiation, and a second lens whose refractive index irreversibly decreases by the ultraviolet irradiation.
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