发明授权
- 专利标题： Mix head assembly for forming chemical mechanical polishing pads
- 专利标题（中）： 混合头组件用于形成化学机械抛光垫
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申请号： US13084159申请日： 2011-04-11
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公开(公告)号： US08118897B2公开(公告)日： 2012-02-21
- 发明人: John Esbenshade , Andrew M Geiger , Paul Libbers , Samuel J November , Paul J Sacchetti , Jonathan Tracy , David Verbaro , Michael E Watkins
- 申请人： John Esbenshade , Andrew M Geiger , Paul Libbers , Samuel J November , Paul J Sacchetti , Jonathan Tracy , David Verbaro , Michael E Watkins
- 申请人地址： US DE Newark
- 专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc.
- 当前专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc.
- 当前专利权人地址： US DE Newark
- 代理商 Thomas S. Deibert
- 主分类号： C09K3/14
- IPC分类号： C09K3/14
摘要：
A mix head assembly for use in the manufacture of chemical mechanical polishing pad polishing layers is provided, wherein inclusions of entrained gas inclusion defects are minimized.
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