发明授权
- 专利标题： Gas ion source with high mechanical stability
- 专利标题（中）： 气体离子源具有较高的机械稳定性
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申请号： US12199574申请日： 2008-08-27
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公开(公告)号： US08044370B2公开(公告)日： 2011-10-25
- 发明人: Dieter Winkler , Thomas Jasinski
- 申请人： Dieter Winkler , Thomas Jasinski
- 申请人地址： DE Heimstetten
- 专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH
- 当前专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH
- 当前专利权人地址： DE Heimstetten
- 代理机构： Patterson & Sheridan, L.L.P.
- 优先权： EP07016766 20070827
- 主分类号： H01T23/00
- IPC分类号： H01T23/00
摘要：
A gas field ion source is described for a charged particle beam device having a charged particle beam column. The gas field ion source includes an emitter unit, a cooling unit, and a thermal conductivity unit for thermal conductivity from the cooling unit to the emitter unit, wherein the thermal conductivity unit is adapted for reduction of vibration transfer from the cooling unit to the emitter unit.
公开/授权文献
- US20090057566A1 GAS ION SOURCE WITH HIGH MECHANICAL STABILITY 公开/授权日：2009-03-05
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