发明授权
- 专利标题： Methods and systems for handling a workpiece in vacuum-based material handling system
- 专利标题（中）： 在真空材料处理系统中处理工件的方法和系统
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申请号： US10985727申请日： 2004-11-10
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公开(公告)号： US07210246B2公开(公告)日： 2007-05-01
- 发明人: Peter van der Meulen
- 申请人： Peter van der Meulen
- 申请人地址： US MA Andover
- 专利权人： Blueshift Technologies, Inc.
- 当前专利权人： Blueshift Technologies, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Andover
- 代理机构： Strategic Patents, P.C.
- 主分类号： F26B5/04
- IPC分类号： F26B5/04
摘要：
Methods and systems are provided for handling an item in a vacuum-based handling system for semiconductor manufacturing. The methods include providing a heater or dryer for the load lock of the handling system that dries a semiconductor wafer during the pumping down of the load lock.
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