发明授权
- 专利标题： Thioxanthone sensitizer for radiation sensitive polyimides
- 专利标题（中）： 用于辐射敏感聚酰亚胺的噻吨酮敏化剂
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申请号： US174650申请日： 1993-12-28
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公开(公告)号： US5391464A公开(公告)日： 1995-02-21
- 发明人: Ali Afzali-Ardakani , Phillip J. Brock , Daniel J. Dawson , Jeffrey D. Gelorme
- 申请人： Ali Afzali-Ardakani , Phillip J. Brock , Daniel J. Dawson , Jeffrey D. Gelorme
- 申请人地址： NY Armonk
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： NY Armonk
- 主分类号： G03F7/031
- IPC分类号： G03F7/031 ; G03F7/038 ; G03C1/725 ; G03C1/73
摘要：
The present invention relates to thioxanthone sensitizers for radiation sensitive polyimide compositions for use in manufacturing integrated circuits such as chips, thin film packaging and printed circuit boards.
公开/授权文献
- US6101685A Container for storing fine particles 公开/授权日：2000-08-15
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IPC分类:
