发明授权
- 专利标题： Organometallic compounds
- 专利标题（中）： 有机化合物
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申请号： US389197申请日： 1989-08-03
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公开(公告)号： US5112432A公开(公告)日： 1992-05-12
- 发明人: Dietrich Erdmann , Max E. Van Ghemen , Ludwig Pohl , Herbert Schumann , Uwe Hartmann , Wilfried Wassermann , Meino Heyen , Holger Jurgensen
- 申请人： Dietrich Erdmann , Max E. Van Ghemen , Ludwig Pohl , Herbert Schumann , Uwe Hartmann , Wilfried Wassermann , Meino Heyen , Holger Jurgensen
- 申请人地址： DEX Darmstadt
- 专利权人： Merck Patent Gesellschaft mit beschrankter Haftung
- 当前专利权人： Merck Patent Gesellschaft mit beschrankter Haftung
- 当前专利权人地址： DEX Darmstadt
- 优先权： DEX3631469 19860916
- 主分类号： C07F5/00
- IPC分类号： C07F5/00 ; C07F5/06 ; C23C16/18 ; C23C16/20 ; C30B25/02 ; C30B29/40 ; H01L21/205
摘要：
In a process for the production of thin films and epitaxial layers by gas-phase deposition, intramolecularly stabilized organometallic compounds are employed as a source of metal.
公开/授权文献
- US5583084A Multimetal oxide compositions 公开/授权日：1996-12-10
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