发明授权
- 专利标题： Method for orienting single crystal films on polycrystalline substrates
- 专利标题（中）： 在多晶衬底上取向单晶膜的方法
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申请号： US30280063申请日： 1963-08-19
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公开(公告)号： US3370980A公开(公告)日： 1968-02-27
- 发明人: ANDERSON GERALD S
- 申请人： LITTON SYSTEMS INC
- 专利权人： Litton Systems Inc
- 当前专利权人： Litton Systems Inc
- 优先权： US30280063 1963-08-19
- 主分类号： C23C14/00
- IPC分类号： C23C14/00 ; C30B23/02 ; H01L21/00
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