发明申请
- 专利标题： HIGH RESOLUTION GAS FIELD ION COLUMN
- 专利标题（中）： 高分辨气体场离子柱
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申请号： US12691932申请日： 2010-01-22
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公开(公告)号： US20100187436A1公开(公告)日： 2010-07-29
- 发明人: Juergen Frosien , Dieter Winkler
- 申请人： Juergen Frosien , Dieter Winkler
- 申请人地址： DE Heimstetten
- 专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人地址： DE Heimstetten
- 优先权： EP09151265.7 20090123
- 主分类号： H01J27/02
- IPC分类号： H01J27/02 ; H01J27/00
摘要：
An ion beam apparatus and a method for providing an energy-filtered primary ion beam are described. Therein, a primary ion beam having an asymmetric first energy distribution is generated by means of an ion source. The primary ion beam is energy filtered using, for example, a retarding lens.
公开/授权文献
- US08158939B2 High resolution gas field ion column 公开/授权日：2012-04-17
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