发明申请
- 专利标题： CMP System with Wireless Endpoint Detection System
- 专利标题（中）： 具有无线端点检测系统的CMP系统
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申请号： US12205861申请日： 2008-09-06
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公开(公告)号： US20100062685A1公开(公告)日： 2010-03-11
- 发明人: Randolph E. Truer , Michael Starman
- 申请人： Randolph E. Truer , Michael Starman
- 专利权人： Strasbaugh
- 当前专利权人： Strasbaugh
- 主分类号： B24B49/12
- IPC分类号： B24B49/12 ; B24B7/20 ; B24D11/00
摘要：
A CMP polishing pad with an optical sensor assembly embedded in the pad, connected to a transceiver and/or power supply mounted at the center of the pad or at the outer edge of the pad which communicates wirelessly with a control system.
公开/授权文献
- US08182312B2 CMP system with wireless endpoint detection system 公开/授权日：2012-05-22
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