- 专利标题： Rare-earth oxide based chamber material
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申请号： US15796487申请日： 2017-10-27
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公开(公告)号： US10577286B2公开(公告)日： 2020-03-03
- 发明人: Jennifer Y. Sun , Biraja P. Kanungo
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Lowenstein Sandler LLP
- 主分类号： C04B35/505
- IPC分类号： C04B35/505 ; C04B35/486 ; C04B35/111 ; H01L21/67 ; C04B35/50 ; C04B35/626 ; C04B37/00 ; C04B37/02 ; H01L21/687 ; C23C16/44 ; H01J37/32 ; C23C4/11 ; C23C4/134 ; C04B35/622 ; C23C16/40 ; H01L21/683 ; C23C16/455 ; C23C16/50 ; C23C14/22
摘要：
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 40-60 mol % of Y2O3, 35-50 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3.
公开/授权文献
- US20180044246A1 RARE-EARTH OXIDE BASED CHAMBER MATERIAL 公开/授权日：2018-02-15
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