发明授权
CN85106007B 偏振条纹扫描数字干涉仪
失效 - 授权
- 专利标题: 偏振条纹扫描数字干涉仪
- 专利标题(英): POLARIZED STRIP-SCANNING DIGITAL INTERFEROMETER
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申请号: CN85106007申请日: 1985-08-06
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公开(公告)号: CN85106007B公开(公告)日: 1988-03-02
- 发明人: 伍树东 , 陈祥祯 , 陶琇
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址: 上海市8211信箱
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 上海市8211信箱
- 代理机构: 中国科学院上海专利事务所
- 代理商 张泽纯
- 主分类号: G01M11/00
- IPC分类号: G01M11/00 ; G01B9/02
摘要:
偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器,它利用起编器、偏振小孔、菲涅尔相板组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ(X、Y)编码为不同偏振角分布φ(X、Y)/2,通过旋转检编器进行条纹扫描,其干涉图由电视摄像机接收,送入微机进行数据处理。发明提供了测量透镜、球面和平面等光学元件的实用的偏振条纹扫描数字干涉仪。该发明的特点是结构简单,操作方便,在一般环境条件下工作,可获得高精密的测量。
公开/授权文献
- CN85106007A 偏振条纹扫描数字干涉仪 公开/授权日:1987-02-25