一种真空计动态比对装置
Abstract:
本实用新型属于真空计检测技术领域,公开了一种真空计动态比对装置,包括控制器和真空室,真空室上连通有标准真空计和待测真空计;真空室还分别连通有充气装置和抽真空装置;抽真空装置包括第一支架和第二支架,第一支架上连接有第一真空泵,第一真空泵的输出端与真空室通过第一管路连通,第二支架上连接有第二真空泵,第三真空泵的输出端与真空室通过第二管路连通;且第一管路上设置有第一阀门,第二管路上设置有第二阀门;控制器分别与第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵、标准真空计和待测真空计连接;本实用新型以实现在超高真空条件下对真空计进行比对,提高比对精度,且结构简单紧凑、操作便捷。
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