- 专利标题: 一种离子交换玻璃基掩埋型分段式模斑转换器
-
申请号: CN202020752781.0申请日: 2020-05-09
-
公开(公告)号: CN212846018U公开(公告)日: 2021-03-30
- 发明人: 郝寅雷 , 蒋建光 , 邓鑫宸 , 牛梦华 , 周柯江 , 车录锋 , 杨建义
- 申请人: 浙江大学绍兴微电子研究中心 , 浙江大学 , 绍兴市科技创业投资有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市越城区皋埠镇银桥路326号; ;
- 专利权人: 浙江大学绍兴微电子研究中心,浙江大学,绍兴市科技创业投资有限公司
- 当前专利权人: 浙江大学绍兴微电子研究中心,浙江大学,绍兴市科技创业投资有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市越城区皋埠镇银桥路326号; ;
- 代理机构: 杭州君度专利代理事务所
- 代理商 徐锋
- 主分类号: G02B6/122
- IPC分类号: G02B6/122 ; G02B6/14
摘要:
一种离子交换玻璃基掩埋型分段式模斑转换器,这种模斑转换器由n段(n≥2)玻璃基锥形波导芯片依次级联而成;每一段玻璃基锥形波导芯片均由玻璃基板(100)及其内部的掩埋型锥形离子掺杂区(101)构成;其中第n段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)粗端的横截面尺寸与第n‑1段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)细端的横截面尺寸相匹配,第n段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)细端作为模斑转换器的输出端。这种玻璃基掩埋型分段式模斑转换器通过n段玻璃基锥形波导芯片级联的方式,可以实现更大幅度的模斑尺寸转换,提高器件性能,同时降低设计和制作的难度。