转盘式集中多级抽真空系统
摘要:
一种转盘式集中多级抽真空系统,包括主抽真空部分,主抽真空部分包括主抽真空泵和用于连接主抽真空泵与工件的真空管,在真空管的管路中设有控制阀,以及在真空管的自由端设有用于与工件连接的连接头,还包括预抽真空部分,预抽真空部分包括设在转盘上,可随转盘一起转动的预抽真空泵,设在转盘上的圈形预抽真空管,圈形预抽真空管与预抽真空泵连接,圈形预抽真空管设有若干与圈形预抽真空管连通的支真空管,支真空管通过预抽真空控制阀与控制阀和连接头之间的管道连接。本实用新型即可以将转盘的直径做得更小,也不会产生在每套支管的工件进入抽真空环境时,对其它的支管的真空度破坏严重,整体真空度波动较大的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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