一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构
Abstract:
本实用新型公开了一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构,包括衬底、传感器切片、设置在衬底上的螺旋磁滞线圈、引线键合焊盘,所述的传感器桥臂由磁电阻传感元件构成,所述传感器切片上沉积有传感器桥臂,所述传感器桥臂电连接成磁电阻传感器电桥,所述的磁电阻传感器电桥设置在所述磁滞线圈上,所述螺旋磁滞线圈产生的磁场与传感器电桥的敏感轴共线,所述磁电阻传感器桥式电路封装在所述衬底上。本实用新型通过设置螺旋磁滞线圈,能够承载更大的电流,电阻值更小。本实用新型消除了由传感器在磁滞周期所产生的磁滞,且所述封装结构的制作工艺简单,制作成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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